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申请/专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司

摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种多尺寸单晶硅棒智能转运车及单晶硅棒转运方法。单晶硅棒智能转运车包含：夹持装置、AGV转运底盘、升降及翻转装置，夹持装置包括夹爪和直动电机，单侧夹爪依靠后置直动电机平动调节两侧夹爪间距，夹爪内置压力传感器自适应夹紧尺寸，电动转盘与后置的升降及翻转装置相互配合实现夹持单晶硅棒的多姿态调节，同时AGV转运底盘可依照控制指令及预设轨迹在各个工序间定点移动。本发明特殊设计的夹持装置适用于多尺寸单晶硅棒，可灵活调节单晶硅棒的夹持位置与姿态，实现了单晶硅棒由拉晶工序至滚磨、截断工序的自主转运与对接，提升了转运过程的稳定性及便宜性。

主权项：1.一种多尺寸单晶硅棒智能转运车，其特征在于，包括夹持装置、AGV转运底盘、升降及翻转装置；所述夹持装置包括多个夹爪23、固定夹爪支架20、滑动夹爪支架21和夹爪台22；夹爪23的前端夹持处采用梯形槽式缺口设计，且夹爪前端缺口内侧均设置压力传感器24，实时监测压力值以自适应夹持不同尺寸的单晶硅棒；同侧夹爪23的后端使用丝杆25与滑动夹爪支架21固定，夹爪23与丝杠25连接处采用螺纹联接，经安装于丝杠25端部的24V直流减速电机26驱动调节同侧夹爪23开闭；两侧夹爪23相互独立，一侧夹爪23固定于夹爪台22，另一侧夹爪23与夹爪台22之间布置有直动电机27，与直动电机27采用T型槽连接，提供调整两侧夹爪23间距的动力，滑动夹爪支架21与夹爪台22间使用孔轴滑动配合提供支撑力；电动转盘16输出轴与夹爪台22中心固结，带动夹持装置绕轴心旋转；所述AGV转运底盘包括底盘5、驱动器7、电磁感应器17、电池仓8，所述驱动器7由差速电机驱动前置主动万向轮18，后侧为从动单向轮19，电磁感应器17位于底盘5前侧中心处，用于检测地面电磁引导线信号；所述电池仓8内嵌于底盘5，且底盘5的前侧、左侧、右侧分别布置有两个超声波雷达11，用于检测行进过程中转运车周围的障碍物信息；所述升降及翻转装置包括两个电动升降缸4、转杆14、转轴3、连杆2、背支撑架15、升降转动电缸12，所述电动升降缸4底端垂直固定于AGV转运底盘；转杆14两端分别固结于两个电动升降缸4的伸缩杆顶端，随电动升降缸4同升同降；升降转动电缸12铰接于底盘表面的铰接架32，背支撑架15的一端固结于电动转盘16背面，另一端设置非对称式通孔与转杆14同轴连接，并且两个背支撑架15对称布置于转杆14中心两侧；连杆2与转杆14同轴连接且设置于转杆14中心，上端铰接于电动转盘16背面，下端与升降转动电缸12上端铰接，连杆2仅可绕转轴3同轴旋转，通过升降转动电缸12伸缩与电动升降缸4差降配合实现电动转盘16绕转轴3偏心旋转，可实现夹持装置在0°～90°间的绕转杆14旋转。

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