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申请/专利权人：广东工业大学

摘要：本发明公开了一种曲面复眼透镜及其制备方法，曲面复眼透镜包括曲面衬底父眼，以及设置在父眼上的若干非球形微透镜子眼，若干子眼具有相同的尺寸并以六方紧凑型结构排列构成微透镜阵列。制备方法包括：对预处理后的基底材料采用玻璃化温度不同的两种光刻胶进行旋涂及前烘；使用无掩膜数字光刻技术对光刻胶进行多重曝光，并在显影后通过热回流处理制备出曲面复眼透镜的光刻胶基板；使用由PDMS混合剂浇筑在光刻胶基板上，经过加热固化后剥离获得凹模；将紫外光固化树脂注入凹模，经过紫外光固化后剥离获得曲面复眼透镜。该曲面复眼透镜可以捕获大部分入射光提高信噪比和光学性能；而该制备方法工艺简单灵活、加工周期短、成本低、形状控制能力好。

主权项：1.一种曲面复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述曲面复眼透镜包括父眼（1），以及设置在所述父眼（1）上的若干子眼（2），所述父眼（1）为曲面衬底，所述子眼（2）为非球形微透镜，所述若干子眼（2）具有相同的尺寸并以六方紧凑型结构排列构成微透镜阵列；所述父眼（1）的半径R和高度H满足H≥R23；所述方法包括：对基底材料（3）进行预处理后，在所述基底材料（3）上依次采用第一光刻胶（4）和第二光刻胶（5）进行旋涂及前烘，其中，所述第二光刻胶（5）的玻璃化温度大于所述第一光刻胶（4）的玻璃化温度；将根据所述曲面复眼透镜预先制作的数字掩模版导入DMD无掩模光刻系统中；使用所述DMD无掩模光刻系统对所述第一光刻胶（4）及所述第二光刻胶（5）进行多重曝光，并对曝光后的所述基底材料（3）进行显影清洗，获得对应所述曲面复眼透镜的预成型多级圆柱结构，包括由所述第一光刻胶（4）生成的父眼大圆柱体（6）以及由所述第二光刻胶（5）生成的若干子眼多级圆柱结构（8）；对所述预成型多级圆柱结构进行两次热回流处理，获得所述曲面复眼透镜的光刻胶基板；其中，第一次热回流处理的温度大于所述第一光刻胶（4）的玻璃化温度且小于所述第二光刻胶（5）的玻璃化温度，第一次热回流处理的时间为3～5min；第二次热回流处理的温度大于所述第二光刻胶（5）的玻璃化温度，第二次热回流处理的时间为40～60s；其中，所述父眼大圆柱体（6）经过所述第一次热回流处理后形成所述父眼光刻胶基板（9），所述若干子眼多级圆柱结构（8）经过所述第二次热回流处理后形成所述子眼光刻胶基板（10）；使用由PDMS与固化液制成的混合剂浇筑在所述光刻胶基板上，经过加热固化后剥离所述光刻胶基板，获得所述曲面复眼透镜的凹模；将紫外光固化树脂注入所述凹模，经过紫外光固化后剥离所述凹模，获得所述曲面复眼透镜。

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