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申请/专利权人：北京聚睿众邦科技有限公司
摘要：本申请提供了一种晶圆变径环，属于变径环技术领域，以解决不便对不同尺寸的晶圆进行便捷的限位的问题，包括底板和安装环，所述底板上安装有安装环，所述安装环上底板内开设有限位滑槽，所述弹簧另一端固定连接有限位板。本申请通过设置的弹性板，在对不同尺寸的晶圆进行限位安装时，可拉动拉杆，将拉杆上的魔术贴从安装环上的魔术贴上脱离，安装环不受阻碍后，可转动安装环进行转动，安装环转动时弹性板能够通过连接件推动夹板进行移动，夹板移动时能够通过第一滑块在限位滑槽内的限位滑动下进行平稳移动，同时夹板能够对摆放的晶圆进行夹持，方便对不同尺寸的晶圆进行夹持限位，以便进行后续加工使用。
主权项：1.一种晶圆变径环，包括底板1和安装环2，其特征在于，所述底板1上安装有安装环2，所述底板1上开设有限位滑槽14，所述限位滑槽14内限位滑动连接有第一滑块3，所述第一滑块3上固定连接有夹板4，所述夹板4上转动连接有连接件5，所述连接件5上转动连接有弹性板6，所述弹性板6固定连接在安装环2上，所述安装环2内开设有导向滑槽8，所述底板1上固定连接有限位杆7，所述限位杆7限位滑动连接在导向滑槽8内，所述限位杆7上固定连接有第二滑块9，所述第二滑块9限位滑动连接在导向滑槽8内，所述第二滑块9内固定连接有弹簧10，所述弹簧10另一端固定连接有限位板11，所述限位板11上固定连接有拉杆12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京聚睿众邦科技有限公司 一种晶圆变径环
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