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申请/专利权人：布勒莱宝光学设备(北京)有限公司
摘要：本实用新型属于真空蒸发镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜修正板控制机构，包括镀膜结构，所述镀膜结构内部设置有手动均匀挡板结构和自动均匀挡板结构，所述镀膜结构底部设置有联动结构。该镀膜修正板控制机构，在镀膜批量生产中，产品均匀性逐渐变差的趋势，通过控制修正板的角度，能补偿均匀性分布，而不需要再重新改变修正板的形状，从而提供产能，同一镀膜流程中，使用了多种镀膜材料，可以获得一致的产品均匀性，降低机械的安装和加工精度要求，减少了对人员素质的要求，同时节约了安装和多次调节角度、修剪修正板的时间，减少由于修正板引起的工艺变化问题点的排查时间，通过检查电机的到位情况来判断是否修正板出现变形等。
主权项：1.一种镀膜修正板控制机构，包括镀膜结构，其特征在于：所述镀膜结构内部设置有手动均匀挡板结构和自动均匀挡板结构，所述镀膜结构底部设置有联动结构；所述镀膜结构包括有真空室门101，所述真空室门101顶部设置有真空腔体102，所述真空腔体102内部左侧安装有自动均匀挡板103，所述真空腔体102顶面中部设置有旋转驱动104，所述真空腔体102背面连接有真空泵系统105，所述真空腔体102内部底面中部安装有电子蒸发系统106，所述电子蒸发系统106左侧设置有离子辅助系统107，所述真空腔体102内部右侧安装有手动均匀挡板108，所述真空腔体102内部顶部安装有基片工件盘109，所述基片工件盘109顶部设置有工件盘承载架110，所述自动均匀挡板103顶部设置有修正板111。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 一种镀膜修正板控制机构
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