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申请/专利权人：麻省理工学院有限公司
摘要：本发明作为检测晶圆Wafer缺陷的超声波检测系统，包括：移送机器人模块110，其具备从装载多个晶圆的装载模块101卸载晶圆后，将所述晶圆移送到进行超声波检测的固定检测位置的臂Arm单元；检测模块130，其至少具备一个探头单元131，对所述固定检测位置状态的晶圆执行超声波扫描。所述检测模块130是，为了所述晶圆的超声波扫描，包括将所述探头单元131固定到所述固定检测位置上侧的至少一个夹具单元140，且所述夹具单元140是，以具备第一至第N通道的多通道方式形成，所述第一至第N通道上可以装配第一至第N探头单元，用于分别照射预先设定的频率。
主权项：1.一种超声波检测系统，其特征在于，作为检测晶圆Wafer的缺陷的超声波检测系统，包括：移送机器人模块110，其具备从装载多个晶圆的装载模块101卸载晶圆后，将所述晶圆移送到进行超声波检测的固定检测位置的臂Arm单元；检测模块130，其至少具备一个探头单元131，对所述固定检测位置状态的晶圆执行超声波扫描；所述检测模块130是为了所述晶圆的超声波扫描，包括将所述探头单元131固定到所述固定检测位置上侧的至少一个夹具单元140；所述夹具单元140是以具备第一至第N通道的多通道方式形成，所述第一至第N通道上可以装配第一至第N探头单元，用于分别照射预先设定的频率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麻省理工学院有限公司 超声波检测系统
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