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申请/专利权人：深圳豪威显示科技有限公司
摘要：本发明涉及电致变色器技术领域，尤其涉及一种透明态氧化镍薄膜及其制备方法与电致变色器件。该制备方法，包括以下步骤：在通水及加热基板条件下，以直流电源反应溅射方法制备透明态氧化镍薄膜。本发明在水蒸气真空环境中进行溅射沉积氧化镍锡薄膜获得透过率较高的薄膜而且其电化学容量也明显提升，更有利于提高电致变色器件的变色效率，响应速度及光学性能的提高。制备的器件的透明态与变色态之间的变化范围宽，变化率达到60%以上。
主权项：1.一种透明态氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在通水及加热基板条件下，以直流电源反应溅射方法制备透明态氧化镍薄膜；制备条件为本底真空1×10-5～5×10-3Pa，基板温度为200～600℃，镀膜时间为20min～1h，工作气压为0.5～5Pa，溅射工作气氛为氧、氩混合气，氧气比例为5～90%，溅射功率密度为0.5～5.0Wcm2；所述通水是在腔体中通过微漏阀通入一定量的去离子水，使得腔体内真空度从10-5级变成10-3或更低的真空度，其中，通过溅射室的压力来调节通入水量，压力变化值范围：1×10-3Pa～5×10-1Pa；所述透明态氧化镍薄膜制备在透明导电薄膜上，透明导电薄膜是沉积在透明基板上的ITO、FTO或AZO；透明态氧化镍薄膜化学组成为NiOxHy，1≤x≤3，0≤y≤2；透明态氧化镍薄膜厚度为50～500nm；透明态氧化镍薄膜中的镍是以镍的二价，三价的两种价态存在的NiO、Ni2O3、NiOH2、或NiOOH的任意组合、以任意比例构成的薄膜材料。
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