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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明涉及一种以显微镜测量样品的方法，该方法包括使用相对于该样品的顶面具有第一角度的聚焦平面扫描该样品，并基于该第一角度计算置信距离。该方法还包括选择该样品上的多个对准标记中的至少一个，用于执行该扫描步骤的横向对准10和或用于执行该扫描步骤的输出的横向对准。特别是，在该选择步骤中所选的该至少一个对准标记，是选自于放置在距该聚焦平面与该顶面的交叉点的置信距离内的对准标记。
主权项：1.一种以显微镜测量样品的方法，该方法包括以下步骤：用相对于该样品的顶面具有第一角度的聚焦平面，扫描该样品，基于该第一角度计算置信距离，选择该样品上的多个对准标记中的至少一个对准标记，用于执行扫描步骤的横向对准和或用于执行扫描步骤的输出的横向对准，其中，在选择步骤中所选的该至少一个对准标记，是选自于放置在距该聚焦平面与该顶面的交叉点的该置信距离内的对准标记。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于测量样品的方法与施行此方法的显微镜
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