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申请/专利权人:湘潭大学;北京大学
摘要:本发明公开了一种铁电超晶格多值存储器及其制作方法,包括一衬底,在衬底上具有源极、漏极以及由源极和漏极组成的栅窗口;在栅窗口中具有铁电超晶格结构,铁电超晶格结构由多层铁电层和沟道层组成,源极和漏极与铁电超晶格结构为端式接触;铁电超晶格结构上具有栅介质层,栅介质层上具有栅极。本发明通过采用二维铁电超晶格实现的多值存储器,实现了多值存储器,提高数据的运算效率,进而实现数据的高密度存储,具有广泛的应用前景。
主权项:1.一种铁电超晶格多值存储器件,其特征在于:具有一衬底,在所述衬底上具有源极、漏极以及由所述源极和所述漏极组成的栅窗口;在所述栅窗口中具有铁电超晶格结构,所述铁电超晶格结构由多层铁电层和沟道层组成,所述铁电层选自硫代磷酸铜铟(CIPS)或铪锆氧化物(HZO),所述源极和所述漏极与所述铁电超晶格结构为端式接触;所述铁电超晶格结构上具有栅介质层,所述栅介质层上具有栅极。
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百度查询: 湘潭大学 北京大学 一种铁电超晶格多值存储器件及其制作方法
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