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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及一种基于三晶格光子晶体结构的半导体面发射激光器，包括由上至下依次分布的P电极、P接触层、P包层、光子晶体层、有源层、N包层、N接触层、N型衬底和N电极，光子晶体层采用三晶格光子晶体结构；光子晶体层由相同的正方形元胞周期排列而成，且每一个正方形元胞内含有三个相同的空气孔，分别为第一空气孔、第二空气孔和第三空气孔，第一空气孔和第二空气孔的中心距离为0.5±0.1a，第三空气孔和第二空气孔的中心距离为0.5±0.1a，其中a为晶格常数。本发明的半导体面发射激光器中的光子晶体层采用三晶格光子晶体结构，增强了对光的横向限制作用，减小了面内损耗，进而降低器件的阈值增益，改善光束远场形貌。
主权项：1.一种基于三晶格光子晶体结构的半导体面发射激光器，其特征在于，包括由上至下依次分布的P电极101、P接触层102、P包层103、光子晶体层104、有源层105、N包层106、N接触层107、N型衬底108和N电极109，所述光子晶体层104采用三晶格光子晶体结构；所述光子晶体层104由相同的正方形元胞周期排列而成，且每一个所述正方形元胞内含有三个相同的空气孔，分别为第一空气孔、第二空气孔和第三空气孔，第一空气孔和第二空气孔的中心距离为0.5±0.1a，第三空气孔和第二空气孔的中心距离为0.5±0.1a，其中a为晶格常数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于三晶格光子晶体结构的半导体面发射激光器
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