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申请/专利权人：南通富热特窑炉有限公司
摘要：本实用新型公开了一种应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，包括垫架、衬板和接触料衬板位于垫架上，衬板上端面设置有若干凸起，若干凸起的顶部形成一承载ITO靶材的平面，且若干凸起呈纵横交错排列形成多条通道，多条通道相互连通，每个凸起上均开设有流道，流道竖直向下贯穿衬板，接触料填充在通道内，接触料可与ITO靶材相接触；本实用新型ITO靶材放置在若干凸起的顶部形成的平面上，ITO靶材与填充在通道内的接触料相接触，烧结时，氧气可通过接触料的孔隙和凸起上的流道与ITO靶材接触，ITO靶材在烧结过程中收缩与氧气充分接触，有效提高ITO靶材的烧结效果，成型质量高。
主权项：1.应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，其特征在于，包括：垫架10；衬板20，位于垫架10上，所述衬板20上端面设置有若干凸起21，若干所述凸起21的顶部形成一承载ITO靶材的平面，且若干所述凸起21呈纵横交错排列形成多条通道，多条通道相互连通，每个所述凸起21上均开设有流道211，所述流道211竖直向下贯穿衬板20；接触料30，填充在通道内，所述接触料30可与ITO靶材相接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通富热特窑炉有限公司 应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置
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