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一种具有应变补偿的大功率反极性LED及其制备方法 

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申请/专利权人:山东华光光电子股份有限公司

摘要:本发明涉及一种具有应变补偿的大功率反极性LED及其制备方法,属于光电子技术领域。由下到上依次包括衬底、缓冲层、腐蚀截止层、欧姆接触层、粗化层、N型AlyIn1‑yP张应变限制层、压应变MQW量子阱有源层、P型AlzIn1‑zP张应变限制层、过渡层和欧姆接触层。本发明在应变多量子阱中引入补偿应变,晶格中的弹性形变直接影响其能带结构,特别是对价带的影响,应变势的引入可使重空穴带和轻空穴带分离,改变空穴的有效质量和态密度,进一步提升器件性能。

主权项:1.一种具有应变补偿的大功率反极性LED,其特征在于,由下到上依次包括衬底、缓冲层、腐蚀截止层、欧姆接触层、粗化层、N型AlyIn1-yP张应变限制层、压应变MQW量子阱有源层、P型AlzIn1-zP张应变限制层、过渡层和欧姆接触层。

全文数据:

权利要求:

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