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摘要：本发明属于纳米传感器技术领域，具体涉及一种基于多层氮化物薄膜结构的Fano共振传感器。基于多层氮化物薄膜结构的Fano共振传感器，包括由下至上依次设置的耦合棱镜、第一层氮化物薄膜、第二层氮化物薄膜和第三层氮化物薄膜，所述第一层氮化物薄膜、第二层氮化物薄膜和第三层氮化物薄膜的材质包括氮化钛薄膜、氮化锆薄膜、氮化钽薄膜、氮化铪薄膜、氮化硅薄膜、氮化铝薄膜、氮化镓薄膜和氮化钒薄膜中的至少一种。本发明的Fano共振传感器由三层氮化物组成，三层氮化物可采用相同的沉积工艺制备，具有优异的灵敏度，解决了现有技术中的Fano共振传感器存在的成本高，稳定性差，制备工艺复杂，周期长，能源耗费多，不利于连续工业化生产的技术问题。
主权项：1.一种基于多层氮化物薄膜结构的Fano共振传感器，其特征在于，包括由下至上依次设置的耦合棱镜、第一层氮化物薄膜、第二层氮化物薄膜和第三层氮化物薄膜，所述第一层氮化物薄膜、第二层氮化物薄膜和第三层氮化物薄膜的材质包括氮化钛薄膜、氮化锆薄膜、氮化钽薄膜、氮化铪薄膜、氮化硅薄膜、氮化铝薄膜、氮化镓薄膜和氮化钒薄膜中的至少一种。
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百度查询： 青岛滨海学院 一种基于多层氮化物薄膜结构的Fano共振传感器
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