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微焦点射线源老化作业的测量控制方法、系统、介质及终端 

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申请/专利权人:海宁精奕电子有限公司

摘要:本申请提供微焦点射线源老化作业的测量控制方法、系统、介质及终端,所述方法包括:响应于组别选择指令,选择对应的老化控制线路组别并进行产品编号和曝光参数的设定;所有老化控制线路组别中各个老化控制线路的控制信息集成于同一显示界面中;每个所述老化控制线路组别包括多个老化控制线路,每个所述老化控制线路用于连接并控制对应的微焦点射线源;检测所选的老化控制线路组别中是否有微焦点射线源连接;若检测到所选的老化控制线路组别中有微焦点射线源连接,则使对应的老化控制线路与接有微焦点射线源的相应串口连接;对当前所连接的微焦点射线源按照设定的曝光参数进行老化测试;响应于测试指令或者按照预设测试条件,执行相应的老化测试任务。本申请解决了现有技术中存在的多窗口控制导致的显示问题和操作失误、操作效率较低等问题。

主权项:1.一种微焦点射线源老化作业的测量控制方法,其特征在于,包括:响应于组别选择指令,选择对应的老化控制线路组别并进行产品编号和曝光参数的设定;其中,所有老化控制线路的控制信息集成于同一显示界面中;每个所述老化控制线路组别包括多个老化控制线路,每个所述老化控制线路用于连接并控制对应的微焦点射线源;响应于初始化指令,对老化控制线路进行初始化连接;检测所选的老化控制线路组别中是否有微焦点射线源连接;若检测到所选的老化控制线路组别中有微焦点射线源连接,则使对应的老化控制线路与接有微焦点射线源的相应串口连接;对当前所连接的微焦点射线源按照设定的曝光参数进行老化测试;响应于测试指令或者按照预设测试条件,执行相应的老化测试任务。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 海宁精奕电子有限公司 微焦点射线源老化作业的测量控制方法、系统、介质及终端

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