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申请/专利权人：上海凯来仪器有限公司
摘要：本发明公开了一种小型化的激光剥蚀系统，包括激光剥蚀模块和样品池模块；所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、振镜模块和样品镜头；所述样品池模块包括样品池壳体、进气口、出气口、窗片和导流板；所述样品池壳体的下端具有开口，所述样品池壳体的下端边缘设置有弹性密封圈。本发明第二方面公开了一种小型化的样品池模块的零件组，包括导流板和样品池壳体。本发明第三方面公开了小型化的激光剥蚀系统的免切割制靶的质谱检测的应用。本发明通过样品池壳体的下端与接触面形成密封连接，仅需要剥蚀区域的样品表面平整光滑，简化了繁琐的前处理切割打磨步骤，大大避免了外来的污染影响检测质量，同时可用于实现便携式激光剥蚀质谱检测。
主权项：1.一种小型化的激光剥蚀系统，其特征在于，包括激光剥蚀模块和样品池模块；所述样品池模块通过固定环与激光剥蚀模块固定连接；所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、振镜模块和样品镜头，所述激光发射器用于产生剥蚀激光，所述振镜模块用于高速调节所述剥蚀激光的聚焦位置，所述样品镜头为物镜或者场镜；所述样品池模块包括样品池壳体、进气口、出气口、窗片和导流板；所述样品池模块具有中空的圆柱形内腔；所述窗片用于将样品镜头与样品池模块的内部空间隔开并允许剥蚀激光通过；所述进气口和出气口设置在样品池壳体上；所述出气口用于和检测装置气路连接；所述样品池壳体的下端具有开口，所述样品池壳体的下端的开口的直径为1～10mm；所述样品池壳体的下端边缘设置有弹性密封圈，所述弹性密封圈用于将样品池壳体的下端与接触面形成密封连接，所述接触面为样品表面或者样品支架表面；所述导流板设置在窗片下方，所述导流板的一侧设置有辅助进气口，所述导流板用于使从辅助进气口送入的载气形成向下气流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海凯来仪器有限公司 一种小型化的激光剥蚀系统及样品池模块
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