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一种激光剥蚀质谱检测的定量检测方法 

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申请/专利权人:上海凯来仪器有限公司

摘要:本发明公开了一种激光剥蚀质谱检测的定量检测方法,所述定量检测方法用于微量定量检测待测样品中待测元素的质量分数,所述定量检测方法包括在使用超短脉冲激光对待测样品进行激光剥蚀质谱检测后,测量所述激光剥蚀质谱检测所形成的剥蚀坑的大小,并对所述激光剥蚀质谱检测结果进行剥蚀坑质量校正。本发明通过超短脉冲激光使剥蚀坑边缘清晰规则易于测量同时降低了元素分馏效应,配合剥蚀坑质量校正,实现使用非基体匹配的标准样品也可以完成定量检测,避免了传统的溶液法检测复杂的样品前处理过程带来的相关问题以及传统的基体匹配固体标样检测的标样难制作、来源少及成本高的问题。

主权项:1.一种激光剥蚀质谱检测的定量检测方法,所述定量检测方法用于微量定量检测待测样品中待测元素的质量分数c待测样,其特征在于,所述定量检测方法包括在使用超短脉冲激光对待测样品进行激光剥蚀质谱检测后,测量所述激光剥蚀质谱检测所形成的剥蚀坑的大小,并对所述激光剥蚀质谱检测进行剥蚀坑质量校正;所述超短脉冲激光的脉宽短于待测样品的被剥蚀区域通过电子-声子耦合达到局部温度平衡所需的时长。

全文数据:

权利要求:

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