首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

波长选择模块、照射系统和量测系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:ASML荷兰有限公司

摘要:描述了一种用于量测设备的波长选择模块。该波长选择模块包括:一个或多个滤波器元件,可操作为接收包括多个波长的输入辐射束,以提供对相应输出辐射束的波长特性的选择控制。所述一个或多个滤波器元件中的至少一个包括至少两个线性可变滤波器。

主权项:1.一种用于量测设备的波长选择模块,包括:一个或多个滤波器元件,能够操作为接收包括多个波长的输入辐射束,以提供对相应输出辐射束的波长特性的选择控制;其中,所述一个或多个滤波器元件中的至少一个包括至少两个线性可变滤波器;其中所述至少两个线性可变滤波器包括至少一个重叠的带通线性可变滤波器对,所述带通线性可变滤波器对包括一起提供带通线性可变滤波器的短通线性可变滤波器和长波长路径线性可变滤波器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: ASML荷兰有限公司 波长选择模块、照射系统和量测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。