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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种金属氧化物透明导电膜层表面处理方法，包括：采用微波等离子源将第一工艺气体激发为第一等离子体，对金属氧化物透明导电膜层进行第一表面处理，以提高金属氧化物透明导电膜层的欧姆接触效果；采用微波等离子源将第二工艺气体激发为第二等离子体，对金属氧化物透明导电膜层进行第二表面处理，以降低金属氧化物透明导电膜层的表面缺陷态密度。本发明能够提高金属氧化物透明导电膜层与后续沉积电极之间的欧姆接触效果，减少金属氧化物透明导电膜层的表面缺陷。
主权项：1.一种金属氧化物透明导电膜层表面处理方法，其特征在于，包括：采用微波等离子源将第一工艺气体激发为第一等离子体，对所述金属氧化物透明导电膜层进行第一表面处理，以提高所述金属氧化物透明导电膜层的欧姆接触效果；采用微波等离子源将第二工艺气体激发为第二等离子体，对所述金属氧化物透明导电膜层进行第二表面处理，以降低所述金属氧化物透明导电膜层的表面缺陷态密度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 金属氧化物透明导电膜层表面处理方法
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