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申请/专利权人：吉林大学
摘要：一种基于金属定义场效应调控技术的光波导调制器，属于集成光电子芯片技术领域。从下至上由衬底层、下包层、芯层、上金属电极层组成，上金属电极层由漏电极、栅电极和源电极构成；采用金属定义的形式，在下包层上形成交替排列的由芯层和上金属电极层组成的侧边包层区和仅由芯层组成的波导芯层区，以基模形式传输的信号光主要在波导芯层区传输；漏电极、栅电极和源电极在芯层上定义出马赫‑曾德尔场效应光波导调制器结构的波导芯层区。本发明在光波导调制器研究中提出了一种全新的调控方式和结构，并在调制性能和工艺制备方面具有显著优势，从而为解决现有光波导调制器技术中的不足提供了新的解决思路和方向。
主权项：1.一种基于金属定义场效应调控技术的光波导调制器，为顶电极控制马赫-曾德尔场效应调制器结构，其特征在于：从下至上由衬底层1、下包层2、芯层3、上金属电极层组成，上金属电极层由漏电极4、栅电极5和源电极6构成，在下包层2上形成交替排列的由芯层3和上金属电极层组成的侧边包层区7-2和仅由芯层3组成的波导芯层区7-1，侧边包层区7-2的折射率低于波导芯层区7-1的折射率；在漏电极4和源电极6间设置栅电极5，漏电极4、栅电极5和源电极6在芯层3上定义出马赫-曾德尔场效应光波导调制器结构的波导芯层区7-1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种基于金属定义场效应调控技术的光波导调制器
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