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光声效应气体传感器及电子设备 

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申请/专利权人:潍坊歌尔微电子有限公司

摘要:本说明书实施例提供了一种光声效应气体传感器和电子设备。该光声效应气体传感器包括:传感器基板;设置在传感器基板上的外壳,具有与外界连通的第一通孔并且与传感器基板形成第一腔体;在第一腔体中设置在传感器基板上的麦克风模组;以及在第一腔体中设置在传感器基板上的光源,其中,麦克风模组包括麦克风基板、麦克风壳体、MEMS麦克风单体以及可操作地耦接到MEMS麦克风单体的ASIC单元,MEMS麦克风单体和ASIC单元被设置在麦克风基板上,其中,麦克风壳体包括声孔和覆盖声孔的隔光透声膜,该隔光透声膜能防止由光源所发射的光的至少一部分进入麦克风壳体并能让声音透过,其中,麦克风基板和麦克风壳体形成光屏蔽腔体。

主权项:1.一种光声效应气体传感器,包括:传感器基板;设置在传感器基板上的外壳,具有与外界连通的第一通孔并且与传感器基板形成第一腔体;在第一腔体中设置在传感器基板上的麦克风模组;以及在第一腔体中设置在传感器基板上的光源,其中,麦克风模组包括麦克风基板、麦克风壳体、MEMS麦克风单体以及可操作地耦接到MEMS麦克风单体的ASIC单元,MEMS麦克风单体和ASIC单元被设置在麦克风基板上,其中,麦克风壳体包括声孔和覆盖声孔的隔光透声膜,该隔光透声膜能防止由光源所发射的光的至少一部分进入麦克风壳体并能让声音透过,其中,麦克风基板和麦克风壳体形成光屏蔽腔体。

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权利要求:

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