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申请/专利权人：黄炳照
摘要：一种沉积方法，其步骤包含将载体暴露水气，使载体表面分布羟基，加入液态前驱物与该羟基进行醇缩合反应，形成目标原子层或目标原子化合物层的沉积载体的制备；本发明所提供的制程可自由选择一种或多种液态前驱物均匀沉积在载体上，相较于现今低产率的干式原子沉积技术，没有反应腔体容积限制，没有繁琐的制程，更可以设计成连续式制程，达到更广的产业利用性。
主权项：1.一种沉积方法，其特征在于，其步骤包含：步骤1：提供一载体；步骤2：将该载体暴露水气中于一设定时间，使该载体表面分布一羟基；步骤3：加入一液态前驱物，该液态前驱物中包含一前驱物与对应的一溶剂；其中，该前驱物至少包含可与该羟基进行醇缩合反应的一目标原子及一官能基；步骤4：该前驱物的该官能基与该载体表面的该羟基进行醇缩合反应键结，使该目标原子通过该官能基与该该载体表面进行键结；以及步骤5：将前述所得到的产物干燥后进行煅烧，使该目标原子形成稳定的一目标原子层或一目标原子化合物层键结负载于该载体表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 黄炳照 沉积方法、其连续式沉积系统与应用
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