龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的维护方法，能够提高干燥单元的维护性。基板处理装置具备干燥单元，所述干燥单元将形成于水平的基板的上表面的液膜置换为超临界流体来对所述基板进行干燥。所述干燥单元具有：压力容器，在该压力容器的内部形成有用于对所述基板进行干燥的干燥室；以及盖体，其用于将所述压力容器的开口封闭。所述基板处理装置具备支承构件，所述支承构件以使所述盖体能够沿与所述开口平行的第一方向及第二方向这两个方向移动的方式支承所述盖体，所述第二方向是与所述第一方向相反的方向。
主权项：1.一种基板处理装置，具备干燥单元，所述干燥单元将形成于水平的基板的上表面的液膜置换为超临界流体来对所述基板进行干燥，其中，所述干燥单元具有：压力容器，在该压力容器的内部形成有用于对所述基板进行干燥的干燥室；以及盖体，其用于将所述压力容器的开口封闭，所述基板处理装置具备支承构件，所述支承构件以使所述盖体能够沿与所述开口平行的第一方向及第二方向这两个方向移动的方式支承所述盖体，所述第二方向是与所述第一方向相反的方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理装置的维护方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号