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申请/专利权人：国立研究开发法人产业技术综合研究所
摘要：一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；测定装置，其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的空间分布进行测定。
主权项：1.一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，其特征在于，具备：光谱仪，其将被设定于所述等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其将被分解后的光的空间分布作为二维图像而进行检测；测定装置，其按每一个与至少所述试料通过所述测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的所述空间分布进行测定；所述测定装置包括：图像生成单元，对由所述检测装置检测出的二维图像进行拍摄并生成时间序列图像Im；图像解析单元，对通过所述图像生成单元作为数字数据而生成的各时间序列图像Im进行解析，并求出将与测定单位时间Tu相应的各时间序列图像Im的测定时刻t以及各时间序列图像Im上的图像坐标x，y设为变量的光强度分布Indt，x，y。
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权利要求：
百度查询： 国立研究开发法人产业技术综合研究所 感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法
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