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太赫兹波用光学元件和太赫兹波用光学元件的制造方法 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:本发明的目的在于提供太赫兹波用光学元件和太赫兹波用光学元件的制造方法,太赫兹波用透镜包括具有形成有使太赫兹波的相位变化的凹凸结构的表面的基片,凹凸结构具有周期性地配置的多个孔部,凹凸结构具有分别有多个孔部的多个区域,孔部的基片的厚度方向的高度和直径按每个区域不同,厚度方向上的凹凸结构的外侧端部位于同一平面上。

主权项:1.一种太赫兹波用光学元件,其特征在于:包括具有形成有使太赫兹波的相位变化的凹凸结构的表面的基片,所述凹凸结构具有由周期性地配置的凹部构成的多个凹凸结构部,所述凹凸结构具有分别配置有多个所述凹凸结构部的多个区域,所述凹凸结构部的所述基片的厚度方向的高度和与所述厚度方向正交的方向的宽度按每个所述区域不同,所述厚度方向上的所述凹凸结构的外侧端部位于同一平面上,所述多个区域由沿规定方向排列的第1区域~第N区域的N个区域构成,所述多个区域各自的有效折射率随着从所述第1区域向所述第N区域去而逐步变小,所述凹凸结构具有分别包含1组所述多个区域的多个重复单元,所述多个重复单元沿所述规定方向排列,所述多个重复单元中至少一个重复单元以成为具有大于2π的宽度的相位分布的方式构成,其中,N为2以上的整数,所述多个区域具有以使得彼此相邻的所述区域间的相位差成为第1相位差的方式设定的第1相位差区域和以使得彼此相邻的所述区域间的相位差成为比所述第1相位差小的第2相位差的方式设定的第2相位差区域,所述凹凸结构中所述凹凸结构部的所述宽度为预先确定的阈值以下的所述区域为所述第2相位差区域,所述凹凸结构中所述凹凸结构部的所述宽度大于所述阈值的所述区域为所述第1相位差区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 太赫兹波用光学元件和太赫兹波用光学元件的制造方法

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