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申请/专利权人:株式会社富士
摘要:物品管理装置具备判断部和变更部。判断部判断对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机有无异常。变更部基于由判断部判断为存在异常的多个对基板作业机中的至少一个即异常作业机的异常的种类,来变更将在多个对基板作业机中使用的物品向多个对基板作业机补给的补给作业的优先级。
主权项:1.一种物品管理装置,具备:判断部,判断对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机有无异常;及变更部,基于异常作业机的异常的种类,来变更将在所述多个对基板作业机中使用的物品向所述多个对基板作业机补给的补给作业的优先级,所述异常作业机是由所述判断部判断为存在异常的所述多个对基板作业机中的至少一个。
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权利要求:
百度查询: 株式会社富士 物品管理装置及物品管理方法
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