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申请/专利权人：广东中旺自动化技术有限公司
摘要：本发明公开了基于角分辨椭偏的透明基底薄膜表征快速测量方法，首先建立一个包含透明基底背反射的非相干部分叠加数学模型IPS，用以准确描述基底前反射和未知背反射的光学叠加效应；建立或采购一个角分辨椭偏测量装置ARE及相应的椭偏参数角谱ARS快速获取方法；利用已知厚度的标准透明平板标定ARE测量参考图像及其IPS模型背反射修正函数；最后利用已标定的IPS‑ARE系统快速测量透明基底薄膜样品的ARS，进而对薄膜样品折射率、厚度及基底厚度等属性参数完成拟合计算表征；本发明解决了常规椭偏测量方法透明基底薄膜光学建模复杂、测量操作复杂、测量误差显著的难题，可应用于LED面板、封装薄膜等先进电子产品的批量化生产在线检。
主权项：1.基于角分辨椭偏的透明基底薄膜表征快速测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、建立包含背反射的非相干部分叠加模型IPS，修正透明基底背反射的影响；S2、建立角分辨椭偏测量装置ARE及相应的角分辨椭偏参数光谱ARS快速获取方法；S3、利用厚度已知的标准透明平板标定ARE测量参考图像及IPS背反射修正函数；S4、利用已标定的IPS-ARE系统测量透明基底薄膜的ARS，进而拟合表征薄膜光学和几何参数及其基底厚度。
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权利要求：
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