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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种氧化锌肖特基二极管及其制备方法，包括：依次设置的肖特基电极层、半导体层、欧姆电极层和基底层；肖特基电极层材料为聚3，4‑乙烯二氧噻吩‑聚苯乙烯磺酸盐；半导体层材料为氧化锌，所述半导体层包括位于顶部的肖特基接触区和位于底部的欧姆接触区；所述肖特基电极层与肖特基接触区之间形成肖特基接触，并作为肖特基电极；所述欧姆电极层与欧姆接触区之间形成欧姆接触，并作为欧姆电极。本发明中肖特基二极管的制备完全采用丝网印刷技术实现，不需要真空腔室或光刻胶、掩膜板等额外设备，成本较低，可以大面积制备。
主权项：1.一种氧化锌肖特基二极管，其特征在于，包括：依次设置的肖特基电极层、半导体层、欧姆电极层和基底层；所述肖特基电极层材料为聚3，4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸盐；所述半导体层材料为氧化锌，所述半导体层包括位于顶部的肖特基接触区和位于底部的欧姆接触区；所述肖特基电极层与肖特基接触区之间形成肖特基接触，并作为肖特基电极；所述欧姆电极层与欧姆接触区之间形成欧姆接触，并作为欧姆电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种氧化锌肖特基二极管及其制备方法
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