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申请/专利权人：株式会社博迈立铖
摘要：公开了质量流量控制器和用于校正与质量流量控制器中的流体的寄生流量相关联的流量不一致的方法。该方法包括获得压力传感器所生成的流体的压力测量信号以及接收流量传感器所生成的流体的流量传感器信号。使用压力测量信号来生成估计寄生流量信号，以及使流量传感器信号加速以产生具有与估计寄生流量信号的带宽相当的带宽的加速流量传感器信号。使用加速流量传感器信号和估计寄生流量信号来生成校正流量信号，以控制质量流量控制器。
主权项：1.一种用于校正质量流量控制器中的流体的寄生流量的方法，所述方法包括：获得压力传感器所生成的压力测量信号；接收流量传感器所生成的流量传感器信号；使用所述压力测量信号来生成估计寄生流量信号；使所述流量传感器信号加速，以产生具有与所述估计寄生流量信号的带宽相当的带宽的加速流量传感器信号；以及使用所述加速流量传感器信号和所述估计寄生流量信号来生成校正流量信号，以控制所述质量流量控制器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社博迈立铖 寄生流量校正方法和校正设备
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