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申请/专利权人：南京中安半导体设备有限责任公司
摘要：本申请实施例提供了一种成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置。该成像平面空间的校正方法包括获取N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，其中，N为正整数，N1；利用干涉仪获取卡盘的顶部表面对应的图像；根据图像确定N个开孔的几何中心对应的N个测量坐标；根据N个标准坐标和N个测量坐标确定校正坐标；根据校正坐标校正图像以得到校正后的图像。本申请实施例基于卡盘的顶部表面上的N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，结合利用干涉仪获取的N个开孔的几何中心对应的N个测量坐标确定校正坐标，从而利用校正坐标对晶圆测量装置的成像平面空间进行校正，进而减小干涉仪所拍摄的图像中存在的畸变，减小了测量结果误差。
主权项：1.一种晶圆测量装置中成像平面空间的校正方法，其特征在于，所述晶圆测量装置包括卡盘和干涉仪，所述卡盘的顶部表面设置有N个开孔，所述N个开孔的形状包括圆形、椭圆形和多边形中的任意一个或多个；所述校正方法包括：获取所述N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，其中，N为正整数，N1；利用所述干涉仪获取所述卡盘的顶部表面对应的图像；根据所述图像确定所述N个开孔的几何中心对应的N个测量坐标，包括：根据所述图像确定所述N个开孔中每个开孔的外周所在的像素点对应的多个第一像素坐标；利用N个开孔中每个开孔的外周所在的像素点对应的多个第一像素坐标，分别拟合出每个开孔的外周对应的坐标函数；根据所述坐标函数计算出N个开孔中每个开孔的几何中心对应的测量坐标；根据所述N个标准坐标和所述N个测量坐标确定校正坐标，包括：分别计算所述N个标准坐标中每个测量坐标和所述每个测量坐标对应的标准坐标之间的差值以得到N个位置差Dx，y；根据所述N个位置差Dx，y拟合得到所述校正坐标；根据所述校正坐标校正所述图像以得到校正后的图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京中安半导体设备有限责任公司 成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置
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