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申请/专利权人：深圳稳顶聚芯技术有限公司
摘要：本申请涉及一种基于机器视觉的晶圆对准装置和方法，所述基于机器视觉的晶圆对准装置包括图像采集组件和光源，所述光源和所述图像采集组件分别位于晶圆的两侧，所述图像采集组件用于采集所述晶圆的轮廓图像，所述光源用于在所述图像采集组件采集所述晶圆的所述轮廓图像时朝向所述晶圆进行光照。本申请所提供的基于机器视觉的晶圆对准装置和方法，利用光源逆向打光的方式，使图像采集组件采集到的轮廓图像呈现更高的对比度，具有低成本，高稳定性和对准效率快等优势。
主权项：1.一种基于机器视觉的晶圆对准装置，其特征在于，所述基于机器视觉的晶圆对准装置包括图像采集组件和光源，所述光源和所述图像采集组件分别位于晶圆的两侧，所述图像采集组件用于采集所述晶圆的轮廓图像，所述光源用于在所述图像采集组件采集所述晶圆的所述轮廓图像时朝向所述晶圆进行光照。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳稳顶聚芯技术有限公司 基于机器视觉的晶圆对准装置和方法
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