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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明公开了一种基于MEMS工艺的透明无磁电加热器件，该器件包括透明导电薄膜、气室保温结构、以及温度测量结构；通过MEMS工艺在玻璃表面生成有利于消除磁场噪声的氧化铟锡（ITO）薄膜导线，使加热器件可以对小型化原子气室进行均匀加热的同时，具有高透光率，此外加热器件上下表面设计的导线结构有利于消除加热过程的磁场噪声；建立玻璃结构对小型化原子气室进行包裹，保证气室的温度稳定；用内部的铂电阻进行测温，实现MEMS气室的温度采集。本发明在实现MEMS气室透明均匀加热的同时，实现对原子气室的温度测量，满足基于SERF效应原子磁强计气室的加热需求，并消除加热过程的磁场噪声。
主权项：1.一种基于MEMS工艺的透明无磁电加热器件，其特征在于，所述器件包括透明导电薄膜、原子气室透明保温结构、以及测温铂电阻，其中：透明导电薄膜，分布在原子气室透明保温结构的上下两个表面，包括氧化铟锡透明加热导线构成的S型迂回图案，且上下两侧的S型迂回图案呈镜像对称，单侧的S型迂回图案包括第一S型迂回图案、第二S型迂回图案，第一S型迂回图案、第二S型迂回图案相互嵌套放置，在核心加热区域呈现三对平行导线的结构，同时由一对长平行导线引出方形电极引脚，用于氧化铟锡导线与外部系统连接；原子气室透明气室保温结构，包括中空且呈矩形的气室放置腔，且其在竖直方向的投影与透明导电薄膜重叠，原子气室透明气室保温结构的侧面包括螺纹结构，用于固定保温帽，所述保温帽用于封闭气室放置腔的一个侧面，所述保温帽包括导线孔；测温铂电阻成三面矩形弯折结构，相邻矩形面之间成90度弯折，分别分布在气室放置腔内部的另三个侧面，利用导线穿过导线孔引出与测温设备连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种基于MEMS工艺的透明无磁电加热器件
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