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申请/专利权人：通快激光与系统工程有限公司
摘要：通过借助脉冲激光束顺序地修改材料的彼此邻接的区段对至少部分透明的材料进行激光材料加工的方法包括以下步骤：借助第一脉冲激光束加工材料以产生第一修改部，第一修改部形成屏蔽面；产生第二脉冲激光束，该第二脉冲激光束在射入到材料中时形成第二聚焦区，该第二聚焦区通过朝向第二聚焦区轴线成角度地射入的激光辐射的相长干涉形成；借助第二脉冲激光束加工材料，其方式是，聚焦区相对于材料运动以在材料的第二区段中产生第二修改部，朝向第二聚焦区轴线成角度地射入的激光辐射的至少一部分射到屏蔽面上。屏蔽面可干扰并尤其抑制第二脉冲激光束的激光辐射的射到屏蔽面上的部分与第二脉冲激光束的激光辐射的未射到屏蔽面上的部分的相长干涉。
主权项：1.一种通过借助脉冲激光束顺序地修改材料的彼此邻接的区段来对至少部分透明的材料进行激光材料加工的方法，所述方法包括以下步骤：产生第一脉冲激光束，所述第一脉冲激光束在射入到所述材料中时形成第一聚焦区；借助所述第一脉冲激光束加工所述材料以产生第一修改部，其中，所述第一聚焦区相对于所述材料运动以修改所述材料的第一区段，从而所述第一修改部形成屏蔽面；产生第二脉冲激光束，所述第二脉冲激光束在射入到所述材料中时形成第二聚焦区，所述第二聚焦区沿着第二聚焦区轴线拉长地形成并且通过朝向所述第二聚焦区轴线成角度地射入的激光辐射的相长干涉形成；和借助所述第二脉冲激光束加工所述材料，其方式是，所述第二聚焦区相对于所述材料运动以在所述材料的第二区段中产生第二修改部，其中，朝向所述第二聚焦区轴线成角度地射入的激光辐射的至少一部分射到所述屏蔽面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通快激光与系统工程有限公司 用于激光材料加工的方法和激光加工设备
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