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申请/专利权人：常州时创能源股份有限公司
摘要：本发明公开了一种简便的高效双POLO电池结构的制备方法，属于光伏技术领域，包括：S1、正面沉积；S2、图形化；S3、BSG沉积；S4、背面沉积；S5、退火；本发明的方法在硅片正面图形化后，在正面沉积BSG，在背面沉积隧穿氧化层和掺磷非晶硅层，然后通过共退火一步高温工序形成双面POLO结构，减少了工艺步骤，提高了工艺效率的同时降低了生产成本。本发明的方法在硅片正面采用BSG作为图形化后非poly区的硼源，退火后使BSG的硼源扩散到正面的非掺硼非晶硅区形成硼发射极，可减少硼扩死层的产生，从而提升钝化效果，同时，可增加掺杂多晶硅层硼掺杂浓度，降低接触区的接触电阻和金属复合，进而大幅提升电池效率。
主权项：1.一种简便的高效双POLO电池结构的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1、正面沉积：在硅片表面沉积隧穿氧化层和本征非晶硅层；S2、图形化：在正面选择性地去除隧穿氧化层和本征非晶硅层，保留栅线状的本征非晶硅层；S3、BSG沉积：在正面沉积BSG作为硼源；S4、背面沉积：在背面沉积隧穿氧化层和掺磷非晶硅层；S5、退火：对硅片进行共退火，使正面的掺硼非晶硅层和背面的掺磷非晶硅层同步晶化，并使正面沉积的BSG硼源扩散到非掺硼非晶硅层；S6、后续处理：进行后续处理，形成电池片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州时创能源股份有限公司 一种简便的高效双POLO电池结构的制备方法
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