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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文提供装备前端模块EFEM的实施例。在一些实施例中，EFEM包括：两个或更多个装载口，两个或更多个装载口用于接收两个或更多个类型的基板；高架存储单元，高架存储单元具有多个存储架，多个存储架设置在两个或更多个装载口上方且被配置为固持两个或更多个类型的不同尺寸的前开式标准舱FOUP，两个或更多个类型的FOUP分别存储两个或更多个类型的基板，其中在多个存储架和两个或更多个装载口之间设置水平过道，以在运输至两个或更多个装载口期间为FOUP提供水平通路；以及高架运输系统，高架运输系统具有一对垂直致动器，所述对垂直致动器设置于高架存储单元的相对侧上且被配置为将FOUP从高架存储单元运输至两个或更多个装载口。
主权项：1.一种装备前端模块EFEM，包括：两个或更多个装载口，所述两个或更多个装载口用于接收两个或更多个类型的基板；高架存储单元，所述高架存储单元具有多个存储架，所述多个存储架设置在所述两个或更多个装载口上方且被配置为固持两个或更多个类型的不同尺寸的前开式标准舱FOUP，所述两个或更多个类型的FOUP分别存储所述两个或更多个类型的基板，其中在所述多个存储架与所述两个或更多个装载口之间设置水平过道，以在运输至所述两个或更多个装载口期间为所述两个或更多个类型的FOUP提供水平通路；以及高架运输系统，所述高架运输系统具有一对垂直致动器，所述对垂直致动器设置于所述高架存储单元的相对侧上且被配置为将FOUP从所述高架存储单元运输至所述两个或更多个装载口，其中所述多个存储架设置于所述对垂直致动器之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于混合式基板接合系统的FOUP或卡匣存储
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