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申请/专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种取放治具FOUP的装置，包括车架、用于放置治具FOUP的洁净罩、设置于车架上且用于控制洁净罩升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩中的治具FOUP的伸缩叉臂和设置于车架上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。本实用新型的取放治具FOUP的装置，可以完成治具FOUP的取放，保证治具FOUP取放的稳定性，增加了保护治具FOUP的洁净罩，避免外部环境的影响；又可降低人员带来的污染、划伤等问题。
主权项：1.取放治具FOUP的装置，其特征在于：包括车架、用于放置治具FOUP的洁净罩、设置于车架上且用于控制洁净罩升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩中的治具FOUP的伸缩叉臂和设置于车架上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 取放治具FOUP的装置
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