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一种FOUP转弯输送机 

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申请/专利权人:捷螺智能设备(苏州)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种FOUP转弯输送机,涉及晶圆传送盒输送技术领域,包括第一输送部、第二输送部和转向输送部,所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向呈夹角设置;所述第一输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第一输送单元;所述第二输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第二输送单元;所述转向输送部包括转向输送单元和转向驱动机构,所述转向驱动机构能够调整所述转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送FOUP,可持续性转向输送晶圆传送盒,避免人工搬运,提高搬运的效率和稳定性。

主权项:1.一种FOUP转弯输送机,其特征在于,包括第一输送部、第二输送部和转向输送部,所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向呈夹角设置;所述第一输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第一输送单元;所述第二输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第二输送单元;所述转向输送部包括转向输送单元和转向驱动机构,所述转向驱动机构能够调整所述转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送FOUP。

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