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申请/专利权人：英利能源发展有限公司
摘要：本发明涉及晶硅电池片生产领域，具体公开一种光化学增强晶硅电池背面poly钝化性能的方法及装置，该方法包括：步骤一、光化学法制备·OH，并经过选择性过滤后，将制备的·OH注入到清洗溶液中；步骤二、将硅片放入含有·OH的清洗溶液中，对硅片抛光面进行氧化，得到均匀分布的超薄湿法氧化层。该装置包括第一槽体和光化学氧化源循环系统，光化学氧化源循环系统包括氧化源循环管路、位于管路上的小功率磁力泵、第二槽体和氧化源发生装置；第二槽体通过氧化源循环管路向氧化源发生装置提供富氧溶液，富氧溶液在氧化源发生装置中反应产生·OH，并经过滤后流向第一槽体。采用该方法和装置能有效提高硅片抛光面氧化的均匀性和poly钝化性能，进而提高电池的光电转化效率。
主权项：1.一种光化学增强晶硅电池背面poly钝化性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采用光化学法制备·OH，并经过选择性过滤后，将制备的·OH注入到清洗溶液中；步骤二、将硅片放入含有·OH的清洗溶液中，对硅片抛光面进行氧化，得到均匀分布的超薄湿法氧化层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英利能源发展有限公司 一种光化学增强晶硅电池背面poly钝化性能的方法及装置
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