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一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置及方法 

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申请/专利权人:天津津航技术物理研究所

摘要:本申请公开一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置及方法,涉及光学表面检测技术领域,该装置包括:显微镜,显微镜具有载物台;承载组件,承载组件设置在载物台上;承载组件具备可绕其中心轴线转动的承载面,承载面用于放置被测样品;通过移动载物台以及转动承载面,改变被测样品与显微镜的视场之间的相对位置,从而对被测样品所有区域内的表面疵病检测。避免出现漏检问题,适用多种不同类型的光学元件表面疵病检测。

主权项:1.一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,包括:显微镜,所述显微镜具有载物台1;承载组件,所述承载组件设置在所述载物台1上;所述承载组件具备可绕其中心轴线转动的承载面,所述承载面用于放置被测样品2;通过移动所述载物台1以及转动所述承载面,改变所述被测样品2与所述显微镜的视场之间的相对位置,从而对被测样品2所有区域内的表面疵病检测。

全文数据:

权利要求:

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