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申请/专利权人：长沙麓邦光电科技有限公司
摘要：本发明涉及光学技术领域，公开一种穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法，以降低成本并提高检测效率。包括：成对称结构的起偏组件和检偏组件，起偏和检偏组件各包括一个分区域波片和一个线性偏振片，各分区域波片设有截面为扇环的八个区域，该八个区域的内径及外径尺寸一致，且每两个区域为快轴方向相同的一组，快轴方向分为四个方向，各扇环的相位延迟量一致，第一分区域波片中任一扇环的出射光束覆盖第二分区域波片中相邻的两个扇环的局部，且第一分区域波片中扇环所对应快轴方向的排布顺序与第二分区域波片中扇环所对应快轴方向的排布顺序不同，以形成两个分区域波片16种不同的与16个探测单元一一对应的扇环快轴方向组合。
主权项：1.一种穆勒矩阵椭偏仪，其特征在于，包括：置于光源与样品之间的起偏组件；所述光源为单色光源；置于样品与探测器阵列之间的检偏组件；所述起偏组件中包括第一线性偏振片和第一分区域波片，所述第一分区域波片设有截面为扇环的八个区域，该八个区域的内径及外径尺寸一致，且每两个区域为快轴方向相同的一组，快轴方向分为A、B、C和D四个方向；所述检偏组件中与所述起偏组件成对称结构，包括第二分区域波片和第二线性偏振片，所述第二分区域波片设有截面为扇环的八个区域，该八个区域的内径及外径尺寸一致，且每两个区域为快轴方向相同的一组，快轴方向分为A、B、C和D四个方向；所述第二线性偏振片的偏振方向与所述第一线性偏振偏的偏振方向一致；其中，各所述扇环的相位延迟量一致，所述第一分区域波片中任一扇环的出射光束覆盖所述第二分区域波片中相邻的两个扇环的局部，且所述第一分区域波片中扇环所对应快轴方向的排布顺序与所述第二分区域波片中扇环所对应快轴方向的排布顺序不同，以形成两个分区域波片16种不同的扇环快轴方向组合；所述探测器阵列包括与所述16种不同的扇环快轴方向组合一一对应的16个探测单元。
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权利要求：
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