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申请/专利权人：中北大学

摘要：本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。

主权项：1.一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：包括起偏臂（1）、检偏臂（2）和样本台（3），所述起偏臂（1）的光路方向上依次设置有检偏臂（2）、样本台（3）；所述起偏臂（1）包括光源（1-1）、起偏器（1-2）和第一快轴可调圆形弹光调制器（1-3），所述光源（1-1）的光路方向上依次设置有起偏器（1-2）、第一快轴可调圆形弹光调制器（1-3），所述第一快轴可调圆形弹光调制器（1-3）的光路方向上设置有样本台（3）；所述检偏臂（2）包括探测器（2-1）、检偏器（2-2）和第二快轴可调圆形弹光调制器（2-3），所述第二快轴可调圆形弹光调制器（2-3）的光路方向上依次设置有检偏器（2-2）、探测器（2-1），所述第二快轴可调圆形弹光调制器（2-3）设置在样本台（3）的光路方向上；所述第一快轴可调圆形弹光调制器（1-3）和第二快轴可调圆形弹光调制器（2-3）均包括通光晶体（4）、第一压电驱动器（5-1）和第二压电驱动器（5-2），所述通光晶体（4）分别与第一压电驱动器（5-1）和第二压电驱动器（5-2）连接；所述探测器（2-1）包括紫外高速光电倍增管、硅基高速光电探测器和InAsSb光电探测器，所述紫外高速光电倍增管探测紫外波段，所述硅基高速光电探测器探测可见近红外波段，所述InAsSb光电探测器探测近红外短波红外波段；所述第一压电驱动器（5-1）与第二压电驱动器（5-2）均设置在通光晶体（4）形成应力驻波的波节位置，所述第一压电驱动器（5-1）与第二压电驱动器（5-2）的工作频率一致。

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