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一种地物目标光谱-成像椭偏装置及其检测方法 

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申请/专利权人:长春理工大学

摘要:本申请公开了一种地物目标光谱‑成像椭偏装置及其检测方法,涉及地物目标测量技术领域,该装置包括:样品台,用于放置待测样品;发射组件,用于向样品台中的待测样品发射可见光;接收组件,用于接收样品台中的待测样品反射出的可见光信号;相机组件,包括若干可见光相机,用于采集样品台中待测样品的偏振图像;计算机,分别与接收组件以及相机组件连接,用于根据可见光信号确定待测样品的第一目标参数值;根据偏振图像确定待测样品的第二目标参数值;以及,根据第一目标参数值和第二目标参数值进行相互验证,确定最终目标参数值,作为待测样品的测量结果值,本申请有效提高目标表面参数测量的准确性。

主权项:1.一种地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述地物目标光谱-成像椭偏装置包括:样品台,用于放置待测样品;发射组件,包括发射端,所述发射端朝向所述样品台,所述发射组件用于向所述样品台中的所述待测样品发射可见光;接收组件,包括接收端,所述接收端朝向所述样品台,所述接收组件用于接收所述样品台中的所述待测样品反射出的可见光信号;相机组件,包括第一可见光相机、第二可见光相机和第三可见光相机,所述第一可见光相机、所述第二可见光相机和所述第三可见光相机均位于所述样品台的正上方,且所述第一可见光相机的镜头、所述第二可见光相机的镜头和所述第三可见光相机的镜头均朝向所述样品台,每一所述镜头的前方均设置有一偏振片,所述相机组件用于采集所述样品台中所述待测样品的偏振图像;计算机,分别与所述接收组件以及所述相机组件连接,所述计算机用于根据所述可见光信号确定所述待测样品的第一目标参数值;以及,根据所述偏振图像确定所述待测样品的第二目标参数值;以及,根据所述第一目标参数值和所述第二目标参数值进行相互验证,确定最终目标参数值,作为所述待测样品的测量结果值;其中,所述第一目标参数值、所述第二目标参数值和所述最终目标参数值均为粗糙度值、微面元法线夹角值或漫反射率值;所述计算机根据所述可见光信号确定所述待测样品的第一目标参数值,具体包括:根据所述可见光信号,采用椭偏测量法,计算得到所述待测样品的第一目标参数值;所述计算机根据所述偏振图像确定所述待测样品的第二目标参数值,具体包括:根据所述偏振图像,采用小波算法得到DOLP图像和DOLP值;根据所述DOLP图像和所述DOLP值,采用随机AF算法,计算得到所述待测样品的第二目标参数值。

全文数据:

权利要求:

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