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申请/专利权人：广东中旺自动化技术有限公司
摘要：本发明属于光学测量相关技术领域，公开了一种双补偿器后焦面快照椭偏测量系统及方法。该测量系统包括照明模块、成像模块、偏振模块和计算求解模块。照明模块通过科勒照明对测量样品均匀照明实现多角度入射。成像模块用于将后焦面成像到面阵相机，通过相机单次曝光快照式获取后焦面图像。偏振模块包括偏振状态发生器和偏振状态分析器，其中偏振状态发生器中起偏器将光束变成线偏振光，再经第一补偿器变成椭圆偏振光；偏振状态分析器中第二补偿器进行第二次相位调制，检偏器进行偏振分析；本发明使用双补偿器偏振调制解决现阶段无补偿器后焦面快照椭偏法测量精度不够高的问题，并保留了后焦面椭偏术的快照测量优势。
主权项：1.一种双补偿器后焦面快照椭偏测量系统，所述椭偏测量系统被配置为能够直接测量样品光学偏振特性，其特征在于：所述椭偏测量系统包括：S100.照明模块：通过科勒照明对测量样品均匀照明实现多角度入射；S200.成像模块：用于将后焦面成像到面阵相机，通过相机单次曝光快照式获取后焦面角谱图像；S300.偏振模块，其包括偏振状态发生器和偏振状态分析器，用于测量系统的偏振调制；S400.计算求解模块，利用系统获取的单帧后焦面角谱图像进行数据分析计算样品性状参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东中旺自动化技术有限公司 一种双补偿器后焦面快照椭偏测量系统及方法
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