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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明属于精密光学测量相关技术领域，其公开了一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法及设备，该方法包括以下步骤：S1，关闭两个光弹调制器，采集光强信息，进而通过光强拟合的方式标定检偏器相对于起偏器的方位角和系统增益系数；S2，打开第一个光弹调制器，使用第一采样率采集一组光强，并使用频域光强拟合的方法校准出第一光弹调制器的方位角和峰值延迟量，同时得到调制频率，然后使用第二采样率采集一组光强，并使用时域光强拟合的方法校准出第一光弹调制器的初相位和静态延迟量；S3，关闭第一个光弹调制器，打开第二个光弹调制器，对第二个光弹调制器同样基于光强拟合进行校准。本发明避免了使用多个锁相放大器。
主权项：1.一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1，关闭两个光弹调制器，按预定的角度步长旋转检偏器一周并逐次采集光强信息，进而通过光强拟合的方式标定检偏器相对于起偏器的方位角和系统增益系数；S2，打开第一个光弹调制器，使用第一采样率采集一组光强，并使用频域光强拟合的方法校准出第一光弹调制器的方位角和峰值延迟量，同时从第一光弹调制器的参考信号中得到第一光弹调制器的调制频率，然后使用第二采样率采集一组光强，并使用时域光强拟合的方法校准出第一光弹调制器的初相位和静态延迟量；S3，关闭第一个光弹调制器，打开第二个光弹调制器，采用频域光强拟合及时域光强拟合的方式对第二个光弹调制器进行校准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法及设备
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