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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种化学机械研磨设备，包括：研磨平台、装配在研磨平台上的研磨垫、多个研磨垫修整器和控制器，多个研磨垫修整器工作时分别用于对研磨垫的工作表面进行修整和或清洁；控制器分别与多个所述研磨垫修整器电连接，控制所述多个所述研磨垫修整器工作。该研磨设备的多个研磨垫修整器的可动态选择特性能够更好地延长耗材使用寿命、节省耗材成本和设备保养时间，同时还能够满足先进工艺中对平坦度和精准度的高要求。
主权项：1.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括：研磨平台；装配在所述研磨平台上的研磨垫；多个研磨垫修整器，多个所述研磨垫修整器工作时分别用于对所述研磨垫的工作表面进行修整和或清洁，所述研磨垫修整器包括功能头和传动臂，所述功能头设置于所述传动臂的一端，所述研磨垫修整器工作时所述功能头在所述传动臂的带动下作用于所述研磨垫的工作表面，对所述研磨垫的工作表面进行修整和或清洁；控制器，分别与多个所述研磨垫修整器电连接，控制多个所述研磨垫修整器工作，所述控制器控制多个所述研磨垫修整器工作时分别作用于所述研磨垫的工作表面的不同区域，所述控制器控制所述功能头的摆动路径和或摆动速度，以使多个所述研磨垫修整器工作时分别作用于所述研磨垫的工作表面的不同区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种化学机械研磨设备
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