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申请/专利权人：广州疏立网络科技有限公司

摘要：本发明公开了一种光照更加均匀的光刻机，包括光刻机壳体、安装于光刻机壳体侧壁的导光筒、设置于光刻机壳体内部且与导光筒相对应的三棱镜、安装于光刻机壳体内部的掩模座以及安装于光刻机壳体远离导光筒一侧面的紫外线探测器，所述三棱镜底端固定有安装板，所述光刻机壳体内壁固定有固定杆。该光照更加均匀的光刻机，通过旋转推动螺杆可以带动推板向限位块一侧移动，推动限位块插入到腔室内部，从而使第一弹簧受到挤压压缩，并使限位块与安装板不再贴合，随后向前拉动安装板即可使固定杆沿着定位槽内壁移动，能够便于将三棱镜和安装板取出，达到维护目的，从而起到便于维护三棱镜的目的，提升了设备的使用效果。

主权项：1.一种光照更加均匀的光刻机，包括光刻机壳体1、安装于光刻机壳体1侧壁的导光筒211、设置于光刻机壳体1内部且与导光筒211相对应的三棱镜212、安装于光刻机壳体1内部的掩模座213以及安装于光刻机壳体1远离导光筒211一侧面的紫外线探测器214，其特征在于：所述三棱镜212底端固定有安装板215，所述光刻机壳体1内壁固定有固定杆216，所述安装板215内壁开设有与固定杆216滑动配合的定位槽217，所述固定杆216外壁设置有限制安装板215横向移动的限位机构；所述光刻机壳体1底端内壁滑动连接有支撑块425，所述支撑块425顶部固定有支撑板426，所述支撑板426顶端设置有夹持机构；所述光刻机壳体1外壁固定安装有透明玻璃318，所述光刻机壳体1前端外壁设置有与透明玻璃318相对应的清理机构，所述清理机构包括移动板311、第一活动板312、第一滑动块313、第一滑动槽314以及清理垫319，所述移动板311滑动连接于光刻机壳体1外壁，所述移动板311底部固定有第一活动板312，所述第一活动板312底部固定有第一滑动块313，所述光刻机壳体1前端外壁开设有与第一滑动块313滑动配合的第一滑动槽314，所述第一活动板312后端固定有清理垫319；所述移动板311顶部安装有驱动电机315，所述驱动电机315输出端连接有主动齿轮316，所述光刻机壳体1顶端滑动连接有与主动齿轮316相对应的齿条板317；所述光刻机壳体1侧壁开设有第三滑动槽421，所述第三滑动槽421内部滑动连接有第二滑动块420，所述第二滑动块420内部转动连接有旋转杆422，所述旋转杆422顶端固定有与主动齿轮316相对应的从动齿轮419，所述旋转杆422底端通过推动组件连接于支撑块425。

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