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申请/专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆检测机台的校对方法，包括：分别采用第一机台和第二机台检测待测晶圆，获取待测晶圆上晶粒的状态数据合集；判断状态数据合集中是否同时存在第一状态子集和第二状态子集；其中，第一状态子集为第一机台检测为缺陷晶粒，且第二机台检测为合格晶粒的集合；第二状态子集为第一机台检测为合格晶粒，且第二机台检测为缺陷晶粒的集合；若状态数据合集中同时存在第一和第二状态子集，则分别调整两个机台的参数，将状态数据合集的一致性系数提高至预设阈值内。本申请晶圆检测机台的校对方法通过待测晶圆上晶粒的状态数据合集来调整第一机台和第二机台的参数，以保证第一机台和第二机台对待测晶圆的检测结果的较高一致性。
主权项：1.一种晶圆检测机台的校对方法，其特征在于，包括如下步骤：分别采用第一机台和第二机台检测待测晶圆，获取所述待测晶圆上晶粒的状态数据合集；判断所述状态数据合集中是否同时存在第一状态子集和第二状态子集；其中，所述第一状态子集为所述第一机台检测为缺陷晶粒，且所述第二机台检测为合格晶粒的集合；所述第二状态子集为所述第一机台检测为合格晶粒，且所述第二机台检测为缺陷晶粒的集合；若所述状态数据合集中同时存在所述第一状态子集和所述第二状态子集，则分别调整所述第一机台和所述第二机台的参数，将所述状态数据合集的一致性系数提高至预设阈值之内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆康佳光电技术研究院有限公司 晶圆检测机台的校对方法
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