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一种氧化铝基片防缺损转运装置 

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申请/专利权人:江苏元核芯技术有限责任公司

摘要:本实用新型公开了一种氧化铝基片防缺损转运装置,包括转运安装壳体,转运安装壳体内部设有转运自动移出组件,转运自动移出组件内部设有防缺损组件,转运安装壳体内部设有轨道移动组件,本实用新型对现有技术做出了改进,在实际使用中,使用转运箱进行转运时,通过转运自动移出组件和防缺损组件,解决了现有技术中将氧化铝基片存入和取出时,还需要人工将转运箱打开,较为不便,而且人工与芯片接触,会将灰尘带到芯片上,导致芯片出现缺损的问题。

主权项:1.一种氧化铝基片防缺损转运装置,其特征在于,包括转运安装壳体1,所述转运安装壳体1内部设有转运自动移出组件2,所述转运自动移出组件2内部设有防缺损组件3,所述转运安装壳体1内部设有轨道移动组件4;所述转运自动移出组件2包括安装隔板201,所述安装隔板201与所述转运安装壳体1固定连接,所述安装隔板201和转运安装壳体1一侧设有滑动板202,所述滑动板202外围滑动有滑动放置架203,所述滑动放置架203底部连接有连接转轴204,所述滑动放置架203通过连接转轴204活动连接有连接板205,所述连接板205一端连接有移动滑块206,所述移动滑块206内部螺纹连接有螺纹杆207,所述螺纹杆207与所述转运安装壳体1活动连接,所述螺纹杆207一端连接有控制电机208,所述控制电机208与所述转运安装壳体1相连接。

全文数据:

权利要求:

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