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申请/专利权人：深圳市兰光光学科技有限公司;南方工业技术研究院(深圳)
摘要：本实用新型涉及包装设备技术领域，具体是涉及一种高损伤阈值基片超净包装盒，包括用于对基片本体进行密封包装的盒盖与盒底，所述盒盖与盒底相嵌合形成密封构件，且密封构件内部开设有用于对基片本体进行锁紧的空腔，所述盒盖或盒底嵌合设有用于对密封构件抽真空的单向排气阀；通过单向排气阀使得密封盒内部抽成真空，可以有效的减少密封盒内部的灰尘，使得包装盒内部保持洁净度，避免基片转移运输时灰尘污染基片表面，有效的保持基片的高损伤阈值。
主权项：1.一种高损伤阈值基片超净包装盒，其特征在于：包括用于对基片本体4进行密封包装的盒盖1与盒底2，所述盒盖1与盒底2相嵌合形成密封构件，且密封构件内部开设有用于对基片本体4进行锁紧的空腔，所述盒盖1或盒底2嵌合设有用于对密封构件抽真空的单向排气阀5。
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百度查询： 深圳市兰光光学科技有限公司 南方工业技术研究院(深圳) 一种高损伤阈值基片超净包装盒
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