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简化驱动电路的IGBT器件结构及其制备方法 

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申请/专利权人:派德芯能半导体(上海)有限公司

摘要:本发明公开了一种简化驱动电路的IGBT器件结构及其制备方法,通过P型掺杂区的深度大于伪沟槽栅的深度的设置,可大大增加IGBT器件结构的Cies输入电容;通过N型漂移区与P型掺杂区所形成的PN结反向偏置时,该PN结在P型掺杂区的耗尽线的深度大于伪沟槽栅的深度,可以降低IGBT器件结构的Cres反向传输电容。本申请提供了一种简化驱动电路的IGBT器件结构及其制备方法,能够提高IGBT器件结构的CiesCres比例输入电容反向传输电容,实现零压关断,有利于简化驱动电路。

主权项:1.一种简化驱动电路的IGBT器件结构,其特征在于,包括N型漂移区以及设置在所述N型漂移区内的真沟槽栅和伪沟槽栅,每个所述真沟槽栅的两侧均为所述伪沟槽栅;所述N型漂移区内形成有间隔设置的P型掺杂区,相邻所述P型掺杂区之间形成有非掺杂区,所述非掺杂区内设置有一个所述真沟槽栅,所述伪沟槽栅均设置于所述P型掺杂区内,且所述P型掺杂区的深度大于所述伪沟槽栅的深度;所述N型漂移区与所述P型掺杂区所形成的PN结反向偏置时,该PN结在所述P型掺杂区的耗尽线的深度大于所述伪沟槽栅的深度。

全文数据:

权利要求:

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