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一种镀膜高分子材料升华装置 

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申请/专利权人:深圳市东田精密光电有限公司

摘要:本发明涉及镀膜高分子材料升华技术领域,尤其涉及一种镀膜高分子材料升华装置,包括无缝管,所述无缝管上设置有:第一固定组件与第二固定组件,所述第一固定组件配套设置于无缝管一端位置,所述第二固定组件配套设置于无缝管另一端位置。本发明中设置由第一竖直段、第一倾斜段、第二竖直段、第二倾斜段、第三竖直段与扩散段组成的导流孔,因为空间变化导致压强减小,使得离子或原子团状态的高分子材料减速扩散,取代现有技术定点输送方式,有助于保障收集基体镀膜的均匀性,通过温控器对沉降腔体中的温度进行感知,以通过加热板对收集基板进行加热处理,减少气体沉降过程中收集基板产生的薄膜与收集基板之间的存在的温差。

主权项:1.一种镀膜高分子材料升华装置,包括无缝管(1),其特征在于,所述无缝管(1)上设置有:第一固定组件(2)与第二固定组件(3),所述第一固定组件(2)配套设置于无缝管(1)一端位置,所述第二固定组件(3)配套设置于无缝管(1)另一端位置;工作管(4)与盖板(5),所述工作管(4)固定连接于无缝管(1)中,所述盖板(5)一端销轴安装于工作管(4)上,且盖板(5)另一端与工作管(4)螺栓连接,所述工作管(4)与盖板(5)均位于无缝管(1)用于设置第一固定组件(2)的一端上;加热腔体(6)与沉降腔体(7),所述加热腔体(6)与沉降腔体(7)对称开设于无缝管(1)用于设置第一固定组件(2)的一端内;U型连接管(8),所述U型连接管(8)固定连接于加热腔体(6)与沉降腔体(7)之间,且U型连接管(8)位于无缝管(1)内;气压阀(9),所述气压阀(9)固定设置于U型连接管(8)与加热腔体(6)之间;保温腔(10),所述保温腔(10)开设于连接管(8)靠近加热腔体(6)的一侧位置,且保温腔(10)内填充有保温材料;放置板(11)、收集基板(12)与抵触块(13),所述放置板(11)一体连接于沉降腔体(7)内壁上,所述收集基板(12)活动放置于放置板(11)上,所述抵触块(13)固定连接于收集基板(12)上;辅助机构,所述辅助机构设置于U型连接管(8)与沉降腔体(7)中,且辅助机构用于控制气流在U型连接管(8)与沉降腔体(7)内的流速。

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权利要求:

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