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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种顶针保护机构、一种晶圆升降机构，以及一种加热盘。所述顶针保护机构包括固定部及保护钩。所述固定部位于所述顶针保护机构的下部，以固定连接升降台。所述保护钩位于所述固定部之上，用于在所述升降台回落时，向下牵引未正常回落的顶针重锤。通过一种设置保护钩结构，本实用新型可以向下牵引未正常回落的顶针重锤，使其回落至正常释放位置，以避免顶针及晶圆损坏。
主权项：1.一种顶针保护机构，其特征在于，包括：固定部，位于所述顶针保护机构的下部，以固定连接升降台；以及保护钩，位于所述固定部之上，用于在所述升降台回落时，向下牵引未正常回落的顶针重锤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 顶针保护机构、晶圆升降机构及加热盘
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